| Titre : | VLSI TECHNOLOGY |
| Auteurs : | S.m. Sze, Éditeur scientifique |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | New York NY : McGraw-Hill Book Company, 1983 |
| Collection : | McGraw-Hill Series in Electrical Engineering |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-0-07-062686-7 |
| Format : | xvi-654 p. / 25 cm |
| Langues : | Anglais |
| Index. décimale : | TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION) |
| Mots-clés | Crystal growth , Epitaxy , Metal films , Oxidation |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 009323 | TECH3 SZE | papier | CNRS | TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION) | Disponible |
