| Titre : | FUNDAMENTALS OF SILICON INTEGRATED DEVICE TECHNOLOGY : Volume I. Oxidation, diffusion and epitaxy |
| Auteurs : | R.m. Burger, Éditeur scientifique ; R.p. Donovan, Éditeur scientifique |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Englewood NJ : Prentice-Hall, 1967 |
| Collection : | Solid State Physical Electronics Series |
| Format : | xvi-496 p. / 25 cm |
| Langues : | Anglais |
| Index. décimale : | MATE (MATERIAUX) |
| Mots-clés | Diffusion , Epitaxy , Oxidation , Silicon |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 000832 | MATE3 BUR1 | papier | CNRS | MATE (MATERIAUX) | Disponible |
