| Titre : | LOW DIELECTRIC CONSTANT MATERIALS FOR IC APPLICATIONS : With 163 figures |
| Auteurs : | P.s. Ho, Éditeur scientifique ; J. Leu, Éditeur scientifique ; W.w. Lee, Éditeur scientifique |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Berlin : Springer, 2003 |
| Collection : | Springer Series in Advanced Microelectronics, num. 9 |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-3-540-67819-9 |
| Format : | xx-309 p. / 25 cm |
| Langues : | Anglais |
| Index. décimale : | MATE (MATERIAUX) |
| Mots-clés | Dielectrics , Insulators , Materials science |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 007443 | MATE4 HO | papier | CNRS | MATE (MATERIAUX) | Disponible |
