| Titre : | NANOFABRICATION HANDBOOK |
| Auteurs : | Stefano Cabrini, Éditeur scientifique ; Satoshi Kawata, Éditeur scientifique |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Boca Raton FL : CRC Press, 2012 |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-1-4200-9052-9 |
| Format : | xvi-518 p. / 29 cm |
| Langues: | Anglais |
| Index. décimale : | TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION) |
| Mots-clés | Handbook , Nanostructure , Pattern , Photolithography , X-rays |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
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| 009279 | TECH1 CAB | papier | CNRS | TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION) | Disponible |
