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Titre :
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HANDBOOK OF MICROLITHOGRAPHY, MICROMACHINING AND MICROFABRICATION : Volume 1 : Microlitography
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Auteurs :
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P. Rai-Choudhury, Éditeur scientifique
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Type de document :
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texte imprimé
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Editeur :
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Washington/London : SPIE/IEE, 1997
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Collection :
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IEE Materials and Devices Series, num. 12
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ISBN/ISSN/EAN :
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978-0-8194-2378-8
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Format :
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768 p. / 26 cm
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Langues:
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Anglais
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Index. décimale :
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TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION)
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Mots-clés
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Electron microscopy
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Handbook
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Microlithography
,
Nanostructure
,
Resins
,
Ultraviolet
,
X-rays
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