Titre : | THIN FILM MICROELECTRONICS : The preparation and properties of components and circuit arrays |
Auteurs : | L. Holland, Éditeur scientifique |
Type de document : | texte imprimé |
Editeur : | London : Chapman & Hall, 1965 |
Collection : | High Vacuum Series |
Format : | xii-284 p. / 25 cm |
Langues: | Anglais |
Index. décimale : | TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION) |
Mots-clés | Circuits , Microelectronics , Thin films , Vacuum |
Exemplaires (1)
Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
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008108 | TECH3 HOL | papier | CNRS | TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION) | Disponible |