| Titre : | HANDBOOK OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGY : Second edition |
| Auteurs : | Robert Doering, Éditeur scientifique ; Yoshio Nishi, Éditeur scientifique |
| Type de document : | texte imprimé |
| Mention d'édition : | 2nd ed. |
| Editeur : | Boca Raton FL : CRC Press, 2008 |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-1-57444-675-3 |
| Format : | pag. mult. / 26 cm |
| Langues: | Anglais |
| Index. décimale : | PMC (PHYSIQUE DU SOLIDE) |
| Mots-clés | Chemical vapour deposition , Deposition , Handbook , Materials , Oxidation , Semiconductors |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 008095 | PMC8 DOE | papier | CNRS | PMC (PHYSIQUE DU SOLIDE) | Disponible |
