| Titre : | MATERIALS SCIENCE IN MICROELECTRONICS : The relationships between thin film processing and structure |
| Auteurs : | E.s. Machlin, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Croton-on-Hudson NY : Giro Press, 1995 |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-1-878857-07-1 |
| Format : | xii-228 p. / 24 cm |
| Langues : | Anglais |
| Index. décimale : | MATE (MATERIAUX) |
| Mots-clés | Amorphous , Crystals , Stress , Thin films |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 008072 | MATE3 MAC | papier | CNRS | MATE (MATERIAUX) | Disponible |
