| Titre : | PROCEDES CHIMIQUES DE DEPOT A PARTIR D'UNE PHASE GAZEUSE |
| Auteurs : | Yves Pauleau, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Hermès science publications, 2004 |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-2-7462-0948-0 |
| Format : | 415 p. / 24 cm |
| Langues: | Français |
| Index. décimale : | MATE (MATERIAUX) |
| Mots-clés | Chemical vapour deposition , Layered structures , Plasma , Thin films |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 007524 | MATE3 PAU | papier | CNRS | MATE (MATERIAUX) | Disponible |
