|
Titre :
|
HANDBOOK OF MICROLITHOGRAPHY, MICROMACHINING AND MICROFABRICATION : Volume 1: Microlitography
|
|
Auteurs :
|
P. Rai-Choudhury, Éditeur scientifique
|
|
Type de document :
|
texte imprimé
|
|
Editeur :
|
Washington/London : SPIE/IEE, 1997
|
|
Collection :
|
IEE Materials and Devices Series, num. 12
|
|
ISBN/ISSN/EAN :
|
978-0-8194-2378-8
|
|
Format :
|
viii-768 p. / 26 cm
|
|
Langues:
|
Anglais
|
|
Index. décimale :
|
TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION)
|
|
Mots-clés
|
Electron microscopy
,
Handbook
,
Microlithography
,
Nanostructure
,
Resins
,
Ultraviolet
,
X-rays
|
