Titre : | SILICIDE THIN FILMS - FABRICATION, PROPERTIES AND APPLICATIONS : Symposium held in Boston, 1995 |
Auteurs : | Raymond T. Tung, Auteur ; Karen Maex ; Paul W. Pellegrini ; Leslie H. Allen ; Silicide Thin Films (1995-11-27/30; Boston, MA, USA) |
Type de document : | texte imprimé |
Editeur : | Pittsburgh : Materials Research Society, 1996 |
Collection : | Materials Research Society Symposium Proceedings, num. 402 |
ISBN/ISSN/EAN : | 978-1-55899-305-1 |
Format : | 648 p. / 24 cm |
Langues: | Anglais |
Index. décimale : | MATE (MATERIAUX) |
Mots-clés | Semiconductors , Silicon , Thin films |
Exemplaires (1)
Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
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006900 | MATE3 TUN/C | papier | CNRS | MATE (MATERIAUX) | Disponible |