| Titre : | HANDBOOK OF SPUTTER DEPOSITION TECHNOLOGY : Principles, technology and applications |
| Auteurs : | Kiyotaka Wasa, Auteur ; Shigeru Hayakawa |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | New Jersey NJ : Noyes Data Corporation, 1992 |
| Collection : | Materials Science and Process Technology Series |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-0-8155-1280-6 |
| Format : | 304 p. / 23 cm |
| Langues : | Anglais |
| Index. décimale : | MATE (MATERIAUX) |
| Mots-clés | Sputtering , Thin films |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 006813 | MATE3 WAS | papier | CNRS | MATE (MATERIAUX) | Disponible |
