| Titre : | VLSI ELECTRONICS : Microstructure Science / Volume 8 : Plasma Processing for VLSI |
| Auteurs : | Norman G. Einspruch, Auteur ; Dale M. Brown |
| Type de document : | texte imprimé |
| Année de publication : | 1984 |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-0-12-234108-3 |
| Format : | 528 p. / 24 cm |
| Langues: | Anglais |
| Index. décimale : | TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION) |
| Mots-clés | Chemical reactions , Electronics , Microlithography , Plasma , Thin films |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 005602 | TECH3 EIN8 | papier | CNRS | TECH (TECHNIQUES ET INSTRUMENTATION) | Disponible |
