| Titre : | HANDBOOK OF ELECTRONIC MATERIALS : Volume 3. I. Silicon nitride for microelectronic applications |
| Auteurs : | J.t. Milek, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | New York NY : Plenum Press, 1971 |
| Collection : | Handbook of Electronic Materials, num. 3 |
| ISBN/ISSN/EAN : | 306-67103-4 |
| Format : | 118 p. / 28 cm |
| Langues: | Anglais |
| Index. décimale : | USU (USUELS) |
| Mots-clés | Handbook , Physical characterisation , Silicon , Sputtering , Thin films |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 002002 | USU1 MOS3 | papier | CNRS | USU (USUELS) | Exclu du prêt |
