| Titre : | CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF REFRACTORY METALS, ALLOYS, AND COMPOUNDS : Proceedings of the conference on chemical vapor deposition of refractory metals, alloys, and compounds. Gatlinburg, Tennessee. September 12-14, 1967 |
| Auteurs : | A. C. Schaffhauser, Éditeur scientifique ; Chemical Vapor (1967-09-12/14; Gatlinburg, TN, USA) |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Hinsdale IL : American Nuclear Society, 1967 |
| Format : | 458 p. / 24 cm |
| Langues: | Anglais |
| Index. décimale : | MATE (MATERIAUX) |
| Mots-clés | Chemical vapour deposition , CVD , Vapour deposition |
Exemplaires (1)
| Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Commentaire |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 001299 | MATE3 SCH/C | papier | CNRS | MATE (MATERIAUX) | Disponible |
